在微電子半導(dǎo)體晶圓制程中，工藝氣體的供應(yīng)效率與過(guò)濾質(zhì)量是提升生產(chǎn)效率的重要因素。深圳恒歌推出的微電子半導(dǎo)體晶圓制程工藝氣體過(guò)濾終端 316L 外殼快速進(jìn)氣擴(kuò)散器，將擴(kuò)散器的快速進(jìn)氣特性與高效過(guò)濾功能相結(jié)合，為晶圓制程提供高效、潔凈的氣體供應(yīng)解決方案。

這款過(guò)濾終端專為半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì)，采用不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，具備快速排氣(進(jìn)氣)能力。在晶圓制程的真空腔體放氣與進(jìn)氣環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)設(shè)備往往因氣體流動(dòng)速度慢而延長(zhǎng)工藝周期，而恒歌的快速進(jìn)氣擴(kuò)散器能大幅縮短氣體交換時(shí)間，提高單位時(shí)間內(nèi)的晶圓處理量，直接助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率。

其 316L 不銹鋼外殼不僅賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐腐蝕、耐高溫、耐高壓性能，還能有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流。在晶圓傳輸與工藝處理過(guò)程中，湍流可能導(dǎo)致腔體內(nèi)顆粒漂浮，增加硅片污染風(fēng)險(xiǎn)。該過(guò)濾終端通過(guò)穩(wěn)定的氣流控制，確保工藝氣體在流動(dòng)過(guò)程中保持平穩(wěn)，避免對(duì)晶圓和工藝環(huán)境造成干擾。

此外，產(chǎn)品適用于多種工藝氣體，無(wú)論是惰性氣體還是反應(yīng)性氣體，都能實(shí)現(xiàn)高效過(guò)濾，滿足不同晶圓制程的需求。每臺(tái)設(shè)備均在潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試和包裝，并通過(guò) 100% 完整性測(cè)試與 100% 氨氣泄露檢測(cè)，確保在微電子半導(dǎo)體高潔凈度要求的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。針對(duì)不同晶圓生產(chǎn)線的安裝空間限制，恒歌還可提供定制化設(shè)計(jì)，讓設(shè)備完美適配現(xiàn)有生產(chǎn)線布局。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、快速進(jìn)氣 / 排氣設(shè)計(jì)：縮短氣體交換時(shí)間，提升制程效率。

2、316L 不銹鋼外殼：適應(yīng)惡劣工藝環(huán)境，耐用性強(qiáng)。

3、多工藝氣體適配：滿足不同晶圓制程的氣體需求。

4、潔凈室生產(chǎn)檢測(cè)：保障產(chǎn)品潔凈度，符合高標(biāo)準(zhǔn)要求。

5、防湍流氣流控制：保護(hù)晶圓不受氣流干擾，降低污染風(fēng)險(xiǎn)。

作為微電子半導(dǎo)體晶圓制程的關(guān)鍵輔助設(shè)備，這款過(guò)濾終端憑借高效、穩(wěn)定的性能，成為企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的重要選擇。