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超高純氣體擴散器
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半導體制造超純氣體擴散器丨VCR316L 真空 3 納米過濾器

  • 這款半導體制造超純氣體擴散器,巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um,能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒,為半導體制造提供超純的氣體環境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣體支持,從而有效保障芯片制造的精準度和穩定性。獨特的全 316L 不銹鋼結構是該產品的一大亮點。這種材質不僅確保了高效過濾,還能巧妙地規避湍流的產生。在半導體制程中,湍流可能會對工藝室環境造成嚴重影響,比如吹起顆粒或者吹起硅片,進而影響產品質量。而恒歌的擴散器專用過濾器則有效解決了這一難題,為工藝室提供穩定、潔凈的環境。
  • 產品詳情

在半導體制造領域,每一個環節都關乎著產品的質量與性能。深圳恒歌的 DF 系列擴散器專用過濾器,作為一款專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用設計的產品,正以其卓越的性能,為半導體制造工藝帶來新的變革。

這款半導體制造超純氣體擴散器,巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um,能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒,為半導體制造提供超純的氣體環境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣體支持,從而有效保障芯片制造的精準度和穩定性。

獨特的全 316L 不銹鋼結構是該產品的一大亮點。這種材質不僅確保了高效過濾,還能巧妙地規避湍流的產生。在半導體制程中,湍流可能會對工藝室環境造成嚴重影響,比如吹起顆粒或者吹起硅片,進而影響產品質量。而恒歌的擴散器專用過濾器則有效解決了這一難題,為工藝室提供穩定、潔凈的環境。

可定制化設計也是這款產品備受青睞的原因之一。它能夠靈活適應各類安裝空間,無論是空間緊湊的小型工廠,還是布局復雜的大型制造車間,都能輕松找到合適的安裝方案。這種定制化服務,充分體現了恒歌以客戶需求為導向的設計理念。

產品特點:

1、不銹鋼粉末燒結介質:可快速排氣,滿足真空腔體快速放氣的需求,提高生產效率。

2、整體 316L 不銹鋼結構:耐腐蝕、耐高溫、耐高壓,保障長期穩定運行。

3、減少工藝腔體排氣時的湍流:有效防止對工藝室環境的干擾,確保產品質量。

4、適用于多種工藝氣體:無論是常見氣體還是特殊工藝氣體,都能完美適配。

5、潔凈室環境內制造、測試、包裝:嚴格遵循高標準,保證產品潔凈度。

6、100% 完整性測試通過:每一個產品都經過嚴格檢測,質量可靠。

恒歌半導體制造超純氣體擴散器,憑借其出色的性能和可靠的品質,成為半導體制造企業提升工藝水平、提高產品合格率的理想選擇。


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