在半導(dǎo)體芯片制造進入納米級時代后，對氣體純度的要求達到了前所未有的高度。哪怕是納米級的微小顆粒，都可能導(dǎo)致芯片電路出現(xiàn)缺陷，直接影響產(chǎn)品良率。深圳恒歌研發(fā)的 3 納米VCR過濾器，憑借極致的過濾精度和可靠的性能，成為半導(dǎo)體精密制造過程中不可或缺的潔凈保障。

這款 3 納米VCR過濾器采用全金屬構(gòu)造，整體選用 316L 不銹鋼材質(zhì)，從根本上避免了非金屬材料可能產(chǎn)生的微粒脫落問題。316L 不銹鋼具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性，能夠耐受半導(dǎo)體制造中常用的各種腐蝕性氣體，如氯氣、氟化氫等，同時在高達 400℃的高溫環(huán)境下仍能保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，確保在極端工藝條件下的過濾效果不受影響。

作為專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計的核心組件，3納米VCR 過濾器在接口兼容性上表現(xiàn)出色，完美適配 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。這種廣泛的兼容性使得它能夠輕松融入不同規(guī)格的氣體管路系統(tǒng)，無論是新建生產(chǎn)線還是老舊設(shè)備升級，都無需對現(xiàn)有管路進行大規(guī)模改造，極大地降低了設(shè)備更換的成本和難度。

安裝便捷性是 3 納米VCR墊片過濾器的一大亮點。它采用墊片式安裝設(shè)計，作為表面密封的過濾器，無需進行復(fù)雜的管道切割或焊接作業(yè)。只需通過標(biāo)準(zhǔn) VCR 接口的緊固方式，就能實現(xiàn)快速安裝，不僅縮短了安裝時間，減少了生產(chǎn)停機帶來的損失，還避免了因焊接等操作可能引入的二次污染風(fēng)險，確保安裝過程的潔凈度。

在過濾性能方面，3 納米VCR墊片過濾器展現(xiàn)出了卓越的實力。其 3 納米的過濾精度，能夠有效截留氣體中幾乎所有的微小顆粒和雜質(zhì)，為 MFC 模塊、精密閥門、穩(wěn)壓設(shè)備等關(guān)鍵組件提供全方位的保護。這些精密設(shè)備一旦受到顆粒污染，不僅會影響控制精度，還可能導(dǎo)致設(shè)備磨損、密封失效，引發(fā)氣體泄漏等嚴(yán)重安全隱患。3 納米 VCR 過濾器的高效過濾能力，能從源頭減少此類問題的發(fā)生，延長設(shè)備使用壽命，降低維護成本。

針對不同壓力需求的半導(dǎo)體系統(tǒng)，3 納米 VCR 過濾器提供了高壓型和低壓型兩種選擇。高壓型適用于高壓系統(tǒng)管路，其中 1/2’’規(guī)格的最大正向壓差可達 2.9Mpa，1/4'' 規(guī)格的最大正向壓差高達 10.4Mpa，流量范圍覆蓋 0~300slpm，能夠滿足高壓力、大流量的工藝場景;低壓型則適用于低壓系統(tǒng)管路(VCR 過濾墊片)，最大使用壓力為 0.98Mpa，流量范圍 0~100slpm，同時根據(jù)不同工藝需求，還提供了多種過濾精度選項，確保在各種壓力條件下都能實現(xiàn)精準(zhǔn)過濾。

3 納米 VCR 過濾器還具備在現(xiàn)有配管上直接安裝的特性，這為半導(dǎo)體工廠的設(shè)備升級提供了極大便利。很多半導(dǎo)體企業(yè)在長期生產(chǎn)過程中，管路布局已經(jīng)固定，更換過濾器時若需調(diào)整管路，不僅成本高昂，還可能影響生產(chǎn)進度。而 3 納米不銹鋼VCR過濾器的這一設(shè)計，讓企業(yè)能夠以最小的改動實現(xiàn)過濾系統(tǒng)的升級，快速提升氣體潔凈度，為更高精度的芯片制造提供支持。

在半導(dǎo)體制造過程中，泄漏風(fēng)險是必須嚴(yán)格防控的環(huán)節(jié)。3 納米 VCR 過濾器通過高效攔截微粒，減少了微粒對閥門、接頭等密封面的磨損，從根本上降低了因密封失效導(dǎo)致的氣體泄漏風(fēng)險，保障了生產(chǎn)環(huán)境的安全和穩(wěn)定。

深圳恒歌始終以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高端需求為目標(biāo)，3 納米不銹鋼VCR 過濾器的推出，充分體現(xiàn)了企業(yè)在精密過濾技術(shù)領(lǐng)域的實力。它以極致的過濾精度、可靠的性能、便捷的安裝和廣泛的兼容性，為半導(dǎo)體精密制造提供了堅實的潔凈保障，助力半導(dǎo)體企業(yè)提升產(chǎn)品良率，在激烈的市場競爭中占據(jù)優(yōu)勢。

無論是在邏輯芯片、存儲芯片還是功率半導(dǎo)體的制造過程中，3 納米 VCR 過濾器都能發(fā)揮關(guān)鍵作用，為每一個生產(chǎn)環(huán)節(jié)輸送潔凈的氣體，守護著納米級制造的精密與穩(wěn)定。選擇恒歌 3 納米 VCR 過濾器，就是選擇了為半導(dǎo)體制造過程筑起一道堅固的潔凈防線，為產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展注入強勁動力。

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