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3納米5納米氣體過濾:半導體制程中高壓高純氣體過濾的革新之路!

作者:燒結過濾器專家 發布時間:2025-06-18 10:04:49人氣: 來源:金屬燒結過濾器廠家

在半導體制造領域,芯片制程技術正朝著納米級甚至埃米級不斷突破。制造一枚指甲蓋大小的芯片,需要經歷光刻、蝕刻、沉積等數百道精密工序,而每一道工序都離不開高壓高純氣體的參與。從用于刻蝕的氟基氣體,到用于沉積的硅烷氣體,這些氣體的純凈度直接決定了芯片的性能與良品率。哪怕是 0.1 納米級別的雜質顆粒,都可能導致芯片電路短路、信號傳輸異常,使得價值百萬的晶圓淪為廢品。因此,高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統中的氣體過濾,成為半導體制造產業鏈中至關重要的 “守門人”。


然而,當前半導體行業在高壓高純氣體過濾方面面臨諸多嚴峻挑戰。傳統高壓氣體過濾器的選擇性較差,難以針對不同性質的氣體進行精準過濾。例如,在處理含氟氣體時,部分過濾器材料會與氟氣發生化學反應,不僅導致過濾效果不穩定,還會引入新的雜質,影響氣體純度。同時,現有產品的過濾精度普遍不足,對于納米級甚至亞納米級的顆粒雜質,傳統過濾器往往束手無策。據行業統計,因氣體雜質導致的芯片制造缺陷,約占總缺陷數的 18% - 22%,極大制約了半導體企業的生產效率和經濟效益。

長時間高壓工作環境,更是讓傳統過濾器的弊端暴露無遺。在半導體制程中,高壓氣體的壓力通常在 10 - 50Mpa 之間,且需持續穩定供應。傳統過濾器在這樣的工況下,極易出現老化、損壞現象。密封件的磨損、過濾材料的變形,不僅降低了過濾器的使用壽命,還可能引發氣體泄漏,帶來安全隱患。頻繁的設備更換和維護,也使得企業的運營成本大幅增加。

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深入探究這些問題產生的根源,主要涉及材料、結構和技術三個層面。材料方面,傳統過濾器多采用普通不銹鋼或塑料材質,其化學穩定性和機械強度難以滿足半導體行業的嚴苛要求;結構設計上,缺乏對高壓環境下密封性和緊湊性的優化,導致安裝空間浪費且易出現泄漏點;過濾技術層面,傳統濾芯的攔截效率和容塵能力有限,無法適應半導體制造中高流量、高精度的過濾需求。


要攻克這些難題,必須從材料創新、結構優化和技術升級三方面協同發力。在材料選擇上,需采用具有超高化學穩定性、高強度和抗腐蝕性的材質;結構設計要兼顧高壓密封性、空間利用率和便捷維護性;過濾技術則要實現對納米級顆粒的高效攔截和長效穩定運行。

316L 不銹鋼憑借其卓越的綜合性能,成為高壓高純氣體過濾器的理想基材。它不僅具備優異的耐高溫、耐高壓和耐腐蝕特性,能夠在 - 20℃至 600℃的極端溫度和 50Mpa 的高壓環境下穩定工作,而且其極低的金屬離子析出率,避免了對氣體的二次污染。在半導體制程中使用 316L 不銹鋼材質的過濾器,能夠有效保障氣體的超高純度,為芯片制造提供可靠的氣體環境。


結構設計的創新同樣至關重要。輕量化、小型化的設計理念,配合精密的螺紋連接和科學的密封結構,使得過濾器在節省安裝空間的同時,確保了整個過濾系統在高壓環境下的密封性。恒歌高壓氣體專用過濾器采用先進的結構設計,兼容 C 型和 WV 型等多種密封規格,可根據不同的氣體輸送系統和設備需求進行靈活適配,為半導體企業提供個性化的解決方案。


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在過濾技術方面,恒歌高壓氣體專用過濾器實現了重大突破。其采用的新型過濾材料和創新工藝,能夠有效攔截 0.003 微米以上的顆粒雜質,對塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物的過濾效率高達 99.999%。獨特的濾芯結構設計,使其具備出色的抗堵塞能力,即使在高流量、高壓力的工作條件下,也能保持穩定的過濾性能,大幅減少了濾芯更換頻率和維護成本。此外,每一臺恒歌高壓氣體專用過濾器都經過 100% 完整性測試和 100% 氫氣泄露檢測,確保產品質量達到行業領先水平。

除了卓越的過濾性能,恒歌高壓氣體專用過濾器在安裝與檢修方面也極具優勢。其輕量化、模塊化的設計,使得安裝過程簡便快捷,無需復雜的工具和專業人員即可完成。濾芯可更換設計,進一步提升了設備的維護效率,企業無需長時間停機,就能快速完成濾芯更換和設備檢修,有效保障了生產的連續性。


從天然氣、石油行業的長距離氣體輸送,到半導體芯片的精密制造;從化工、冶金領域的高壓生產,到汽車工業的自動化作業,恒歌高壓氣體專用過濾器憑借其整體 316L 不銹鋼結構、輕量化小型化設計、高過濾效率、不易堵塞以及便捷的安裝檢修等核心優勢,為各行業提供了專業、可靠的高壓氣體過濾解決方案。


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  • 我們定制采購的是氣體過濾器,防止回火,要求能承受和抑制氫氣回火,能精準控制幾種氣體流速,最大進口壓力:0.025bar 最小出口壓力:0.01bar;恒歌生產的不銹鋼濾芯質量完成超出我們預期,各種完全達標,做工精細!
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  • 我司采購的是不銹鋼燒結濾網,我們對濾芯要求精度是0.2-0.5um和1-5um;需要按照我們要求定制濾板,并且好清洗;目前已測試打樣符合要求,已開始初步合作!
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