半導體生產過程對氣體的純凈度要求極高，精確控制氣體中的微粒含量是納微米氣體過濾器的重要應用領域。同時，半導體制造過程中涉及的工藝氣體，部分具有腐蝕性、高純度等特性，高質量的過濾器有助于精準清除超純氣流中的微粒，保障生產環境的純凈度，從而確保產品質量和生產安全。恒歌在產品設計和半導體相關行業應用方面擁有豐富的經驗，能夠提供符合行業標準的過濾器解決方案，滿足客戶在安全性、可靠性和性能方面的需求。

一、客戶嚴苛的使用工況

在半導體制造過程中，超純氣體的使用極為關鍵，其純凈度直接影響到芯片的質量和性能。客戶在半導體芯片的生產環節中，需要使用超純工藝氣體，然而這些氣體中存在的微小顆粒雜質，可能會導致芯片制造過程中出現缺陷，影響產品的良品率。客戶原有的氣體過濾設備，無法滿足其對超純氣體中微粒的高精度過濾要求，在氣體流量較大時，過濾效果明顯下降，無法保障生產環境的純凈度。

在半導體的光刻、刻蝕等關鍵工藝中，對氣體的純凈度要求極高，任何微小的雜質顆粒都可能導致芯片的電路圖案出現偏差或損壞。客戶使用的工藝氣體中，包含一些具有腐蝕性的成分，如含氟氣體等，這對過濾器的材質提出了更高的要求。普通材質的過濾器在這種腐蝕性氣體的侵蝕下，容易出現損壞，不僅影響過濾效果，還可能導致氣體泄漏，帶來安全隱患。

客戶使用的常規過濾器進行測試，當氣體流量達到一定數值，且在含有腐蝕性氣體的環境中運行一段時間后，普通材質的過濾器濾芯很快被腐蝕，過濾效率大幅降低，無法有效攔截超純氣體中的微粒，使得生產出來的芯片良品率無法達標。若無法解決過濾器在此環境中的高精度過濾和耐腐蝕問題，客戶將面臨產品生產效率降低，產品質量無法保證的困境。面對此困境，客戶最終找到恒歌尋求解決方案。

二、恒歌的定制化解決方案

為了應對此次挑戰，恒歌為此工況定制了 TF 系列工藝氣體專用過濾器(直通式過濾器)。這款過濾器專為半導體領域設計，采用整體 316L 不銹鋼結構，能夠精準清除 UHP(Ultra High Purity，超高純)超純氣流中的微粒，保障生產的純凈度。同時，考慮到客戶使用環境中存在腐蝕性氣體，316L 不銹鋼具有出色的耐腐蝕性能，能夠有效抵抗含氟氣體等腐蝕性成分的侵蝕。

1. 高精度微粒過濾性能

TF 系列過濾器采用先進的過濾技術，能夠有效攔截超純氣體中的微粒，攔截率高達 99.9999%。其高通量、低阻力的設計，大幅降低了壓力損耗，確保氣體在高流量下仍能保持穩定的過濾效率，滿足半導體生產對氣體流量和壓力的嚴格要求。

2. 堅固耐用的結構設計

過濾器整體采用 316L 不銹鋼材質，具有耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性。其工作溫度-28~ +482℃，工作壓力207~414bar，能夠適應半導體生產中的各種苛刻工況。這種材質不僅能夠有效抵抗含氟氣體等腐蝕性成分的侵蝕，還能確保設備在長期使用過程中的穩定性和可靠性。

3. 便捷的安裝與維護

TF 系列過濾器安裝簡便，僅需進行氣路對接與螺母緊固，無需焊接，避免了焊接過程中可能產生的污染和風險，確保密封無憂。此外，過濾器的維護也非常方便，更換濾芯簡單快捷，無需拆卸整個設備，大大減少了維護時間和成本。

4. 嚴格的質量控制

恒歌對 TF 系列過濾器的生產過程進行了嚴格的質量控制，每一件產品都經過 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試，確保產品的性能和質量達到最高標準。這種嚴格的質量控制措施，為客戶提供了可靠的保障，使客戶能夠放心使用。

三、成功交付與客戶反饋

在恒歌的定制化解決方案下，TF 系列工藝氣體專用過濾器經過多次嚴格的測試和驗證，完全滿足了客戶對超純氣體微粒清除的要求。在實際使用過程中，過濾器的性能穩定可靠，有效保障了半導體生產的純凈度，提高了生產效率和產品質量。客戶對恒歌的產品和服務給予了高度評價，認為恒歌的專業技術團隊和定制化解決方案為他們解決了長期困擾的難題，為半導體生產的順利進行提供了有力支持。

恒歌憑借其在納米微米氣體過濾器領域的專業技術和豐富經驗，成功為半導體客戶定制了一款能夠精準清除 UHP 超純氣流中微粒的 TF 系列工藝氣體專用過濾器。這款過濾器以其卓越的微粒過濾性能、堅固耐用的結構設計、便捷的安裝與維護以及嚴格的質量控制，贏得了客戶的信賴和認可。恒歌將繼續致力于為客戶提供高質量、高性能的氣體過濾解決方案，助力半導體產業的發展。如果您也面臨著類似的超純氣體微粒污染難題，歡迎與恒歌聯系，我們將為您提供專業的定制化解決方案。

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