一、極致的過濾效能

在半導體行業中，氣體的純凈度直接決定了產品的質量與良率。恒歌SF 系列 IGS 面板專用過濾器脫穎而出的關鍵在于其卓越的過濾能力。它能夠實現 0.003μm 級高效顆粒過濾，這意味著哪怕是極其微小的雜質顆粒都難以逃過它的 “法眼”。同時，保障 9 - LRV 清潔度，為半導體生產過程提供了一個近乎純凈的氣體環境。無論是芯片制造中的光刻、蝕刻等精細工序，還是其他對氣體純度要求極高的環節，恒歌SF 系列過濾器都能有效去除可能影響產品質量的雜質，大大降低次品出現的概率。

二、出色的流量適配與設備兼容性

半導體生產設備往往需要穩定且較大流量的氣體供應，恒歌SF 系列過濾器恰好能滿足這一需求。它支持高達 100slpm 的大流量，確保在設備運行過程中不會因氣體流量不足而導致生產中斷或效率降低。而且，它兼容 C 型和 W 型多種密封規格，這使得它能夠與半導體行業集成氣體輸送與控制系統中的各種設備完美適配，無論是現有的生產線升級改造，還是新生產線的建設，恒歌SF 系列過濾器都能輕松融入，真正做到助力設備升級無憂，為企業的生產擴張和技術升級提供了有力保障。

三、堅固耐用且精巧的設計

其全 316L 不銹鋼構造是一大亮點。不銹鋼材質本身就具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，再加上電解拋光處理的 316L 不銹鋼外殼，不僅進一步提升了其抗腐蝕能力，還使過濾器表面更加光滑，減少了雜質吸附的可能性。小型化設計與緊湊的結構讓它在空間有限的半導體生產車間中不會占據過多寶貴空間。同時，采用機械密封且結構上與介質無焊接的設計，既保證了良好的密封效果，防止氣體泄漏，又使得安裝與檢修便捷高效。在半導體行業爭分奪秒的生產節奏中，這種設計能夠有效減少設備停機維護的時間，提高整體生產效率。

四、利于系統集成與長期穩定運行

恒歌SF 系列過濾器采用符合 SEMI 標準的表面安裝元件，這為系統集成帶來了極大的便利。它能夠與其他半導體設備無縫對接，便于進行模塊化設計升級，使整個集成氣體輸送與控制系統更加靈活、高效。長期來看，其穩定的性能和低維護成本能夠確保在半導體生產過程中持續穩定地運行，為企業節省大量的人力、物力和時間成本，是半導體企業追求高品質、高效率生產的理想選擇。

恒歌SF 系列LGS面板專用過濾器特點：

? 整體316L不銹鋼結構

? 小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 電解拋光316L不銹鋼外殼

? 安裝與檢修便捷高效

? 采用機械密封、結構上與介質無焊接

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