KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。

在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導體設(shè)備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風，適合短時間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合。

產(chǎn)品特點

●減少工藝腔體排氣時的湍流

●適用于多種工藝氣體

●潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

●100% 完整性測試通過

技術(shù)參數(shù)