恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業集成氣體輸送與控制系統設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，能夠實現9-LRV清潔度，有效保障氣體的超高純度。此外，該過濾器支持高達100slpm的大流量，助力設備升級無憂，適用于多種半導體工藝氣體，確保系統的高效運行。

產品特點

●  整體316L不銹鋼結構

●  小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性

●  耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

●  電解拋光316L不銹鋼外殼

●  安裝與檢修便捷高效

●   采用機械密封、結構上與介質無焊接

應用領域

●  半導體制造

在半導體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產效率。

●  集成氣體輸送與控制系統

該過濾器兼容C型和W型多種密封規格，能夠無縫集成到現有的氣體輸送與控制系統中，實現高效的氣體凈化和輸送。

●  設備升級與模塊化設計

采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統集成與模塊化設計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設備升級的理想選擇。

在半導體行業中，SF 系列 IGS 面板應用過濾器主要有以下原因：

●  確保氣體純度：半導體制造工藝對氣體純度要求極高。例如，在芯片制造的光刻環節，哪怕極其微小的顆粒雜質，都可能導致光刻圖案出現偏差，影響芯片的精度和性能。過濾器能夠實現 0.003μm 級的高效顆粒過濾，保障 9 - LRV 清潔度，將氣體中的塵埃、金屬離子等雜質有效攔截，為半導體工藝提供近乎純凈的氣體，滿足生產高質量、高性能芯片的嚴苛要求。

●  保護設備：半導體生產設備通常非常精密且昂貴。如果氣體中含有雜質，可能會對設備的內部部件，如氣體輸送管道、閥門、反應腔等造成磨損、腐蝕或堵塞，縮短設備的使用壽命，增加維修成本。過濾器可以將氣體中的雜質過濾掉，減少雜質對設備的損害，延長設備的正常運行時間，降低設備維護頻率和成本，提高生產的連續性和穩定性。

●  提升工藝穩定性：穩定的工藝條件是半導體制造的關鍵。氣體中的雜質可能會引發化學反應異常，導致工藝參數波動，影響產品的一致性和良品率。通過使用過濾器，可以有效去除雜質，使氣體成分穩定，從而確保工藝過程的穩定性，提高產品的一致性和良品率，降低生產成本。