用于半導體應用的多孔金屬墊片過濾器

保護精密氣體系統的可靠解決方案：

（1）這種全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統設計，可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標準墊片接口無縫兼容。

（2） 墊圈式設計確保安裝簡便，是 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。

（3）多孔金屬墊片過濾器可承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入、保護敏感的氣體元件。

（4）通過防止與污染有關的泄漏，它可以延長設備的使用壽命并降低維護成本。

（5）該過濾器有低壓和高壓兩種型號，可改裝到現有的管道系統中、為保護精密設備免受污染提供了經濟高效的解決方案。

規格

產品特點

低壓系列

適用于低壓系統管道

*最大工作壓力0.98Mpa
*流量范圍：0~100slpm

多孔不銹鋼VCR墊片過濾器的應用

1.半導體制造：

●用于氣體分配系統，以過濾顆粒并保護質量流量控制器 (MFC)、閥門和調節器等敏感元件。

●確保化學氣相沉積(CVD)和蝕刻等工藝中的潔凈氣體供應，防止顆粒污染導致產品缺陷。

2.制藥和生物技術行業：

●非常適合用于關鍵工藝的高純度氣體輸送系統，如藥品生產中的氣體滅菌或氣體混合。

●通過過濾可能影響產品質量的雜質，確保生產中使用的氣體的完整性。

3.航空航天和高科技制造業：

●應用于航空航天領域先進材料、涂層和組件制造所用的精密氣流控制系統。

●可承受極端的溫度和壓力，在苛刻的環境中提供持久的顆粒過濾。

4.化學處理：

●適用于存在高溫、高壓和腐蝕性環境的化工廠供氣管道。

●防止可能破壞化學反應或導致設備故障的微粒污染。

5.實驗室和研究設施

●用于氣相色譜儀、質譜儀或其他敏感分析設備等科學儀器的高精度氣體輸送系統。

●保護精密儀器免受微粒污染，提高精度和使用壽命。

6.高純度氣體分配：

●對于需要超潔凈氣體的系統(如電子制造中使用的系統)至關重要，因為污染物會破壞制造過程。

●316L 不銹鋼結構確保了耐用性和耐化學性，使其適用于惡劣的工作環境。

7.低溫氣體系統：

●適用于低溫氣體輸送系統，在醫療氣體供應或液化氣處理等行業中，過濾掉可能影響低溫工藝性能的顆粒至關重要。

8.石油和天然氣行業：

●用于煉油廠或石化廠的氣體過濾系統，確保清除氣流中的污染物，保護設備免受堵塞或磨損。

產品的主要優點：

*耐高溫和高壓，使過濾器能夠在極端條件下可靠運行。

*316L 不銹鋼耐腐蝕，即使在化學腐蝕性環境中也能確保較長的使用壽命。

*安裝方便，無需額外切割或焊接，易于改裝到現有系統中。

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