恒歌在線式大宗氣體系統(tǒng)過(guò)濾器專(zhuān)為半導(dǎo)體工藝氣體凈化設(shè)計(jì)，憑借卓越的過(guò)濾性能、可靠的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與嚴(yán)格的質(zhì)量管控，成為半導(dǎo)體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設(shè)備，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障，助力提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 潔凈環(huán)境制造，奠定穩(wěn)定工藝基礎(chǔ)

過(guò)濾器全程在潔凈室環(huán)境下完成制造，從生產(chǎn)到組裝的每一個(gè)環(huán)節(jié)都嚴(yán)格控制粉塵、雜質(zhì)污染，確保產(chǎn)品本身具備潔凈、穩(wěn)定的工藝表現(xiàn)，避免因設(shè)備自身污染影響半導(dǎo)體工藝氣體純度，從源頭保障下游生產(chǎn)環(huán)節(jié)的氣體潔凈需求。

2. 優(yōu)質(zhì)材質(zhì)選用，耐受?chē)?yán)苛工況

外殼材質(zhì)：采用316L 不銹鋼打造外殼，具備出色的耐腐蝕性與高強(qiáng)度特性，可承受高壓工況，適配半導(dǎo)體行業(yè)中多種工藝氣體的輸送與過(guò)濾需求，有效避免外殼因腐蝕或高壓損壞導(dǎo)致的氣體泄漏問(wèn)題。

產(chǎn)品性能

1. 超高顆粒截留率，確保氣體潔凈度

過(guò)濾器在30slpm 流量下，對(duì)3nm 及以上顆粒的截留率高達(dá) 99.9999999% ，能深度去除半導(dǎo)體工藝氣體中的微小顆粒，避免顆粒雜質(zhì)影響芯片制程，為半導(dǎo)體生產(chǎn)提供超高潔凈度的工藝氣體，保障晶圓生產(chǎn)質(zhì)量。

2. 優(yōu)異流體性能，降低系統(tǒng)能耗

高流量與低初始?jí)航担寒a(chǎn)品具備高流量特性，同時(shí)初始?jí)航档停诒Ｕ蠚怏w輸送效率的同時(shí)，減少氣體輸送過(guò)程中的能耗消耗，降低半導(dǎo)體生產(chǎn)的能源成本。

穩(wěn)定壓差表現(xiàn)：在 23°C(73°F)工況下，最大正向壓差可達(dá) 4 bar(60 psig)，最大反向壓差為 0.7 bar(10 psig)，能在不同工況下保持穩(wěn)定的過(guò)濾性能，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)中多變的工藝需求。

3. 緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，節(jié)省安裝空間

過(guò)濾器整體體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，能有效節(jié)省半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部寶貴的空間資源，同時(shí)方便安裝操作，適配半導(dǎo)體廠房設(shè)備密集、空間有限的安裝環(huán)境，降低設(shè)備布局與安裝難度。

4. 可靠質(zhì)量管控，消除使用隱患

優(yōu)化濾芯設(shè)計(jì)：濾芯的設(shè)計(jì)及材料選擇經(jīng)過(guò)嚴(yán)格優(yōu)化，可有效消除膜片形變和脫落現(xiàn)象，確保下游氣體潔凈度可靠，避免因膜片問(wèn)題導(dǎo)致的過(guò)濾失效，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性。

嚴(yán)格檢測(cè)流程：產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過(guò)100% 氦氣泄漏檢測(cè)，氦氣泄漏率低至 1 x 10?? atm cc/sec，同時(shí)還會(huì)進(jìn)行高純氣體吹掃，保證產(chǎn)品下游顆粒潔凈度，確保過(guò)濾器在使用過(guò)程中無(wú)泄漏、無(wú)二次污染風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品應(yīng)用

1. 多密封類(lèi)型，適配多樣系統(tǒng)

提供VCR 墊片密封和卡套管密封兩種類(lèi)型，能適配大多數(shù)半導(dǎo)體系統(tǒng)和生產(chǎn)設(shè)備的配置，無(wú)需額外定制密封配件，降低設(shè)備適配成本與難度，提升過(guò)濾器的通用性。

2. 豐富應(yīng)用領(lǐng)域，覆蓋半導(dǎo)體氣體需求

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)多種氣體相關(guān)場(chǎng)景，包括：

高純壓縮氣體：去除高純壓縮氣體中的顆粒，保障氣體純度;

工藝特種氣體：為各類(lèi)工藝特種氣體提供過(guò)濾純化，滿(mǎn)足特種工藝需求;

氣柜和 VMB(閥門(mén) manifold 箱)：在氣柜和 VMB 中實(shí)現(xiàn)氣體過(guò)濾，保障氣體輸送過(guò)程的潔凈;

有毒氣體：安全過(guò)濾有毒氣體中的顆粒，同時(shí)避免氣體泄漏，保障生產(chǎn)安全;

二次配管：在二次配管環(huán)節(jié)進(jìn)行氣體過(guò)濾，進(jìn)一步提升氣體潔凈度，確保下游工藝穩(wěn)定。