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超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學試劑。為適應一些科學研究和尖端技術的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門，需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數應小于三個。
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