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薄膜沉積設備過濾器丨CVD化學氣相沉積供氣系統過濾器

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薄膜沉積過程中，氣體若含有微粒或烴類污染物，會導致薄膜孔洞、剝落或電性失效。例如，在CVD工藝中，顆粒物可能成為成核點，引起不均勻沉積;在PVD中，污染物可能干擾濺射靶材的純度。過濾器能消除湍流和顆粒攜帶問題，確保氣流平穩，防止工藝腔體污染...

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