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半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細(xì)分設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了對半導(dǎo)體多工藝...

半導(dǎo)體潔凈室對氣路系統(tǒng)的密封性要求極高，任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致潔凈度下降，影響產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器)，以全焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為核心，實(shí)現(xiàn)了 “零泄漏” 的密封效果，為半導(dǎo)體潔凈室提供可靠的工藝...

在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設(shè)備實(shí)現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片，是真空系統(tǒng)的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環(huán)過濾器，是真空系統(tǒng)中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中，氣體的純度對產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累，精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計(jì)的特氣柜電子氣氣體過濾器，為這些行業(yè)提供了...

恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規(guī)格的氣阻配件靈活組合，可便捷安裝于壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)等對氣體流量穩(wěn)定性要求極高的場景下，它能有效防止意外高氣體流量，保護(hù)系統(tǒng)穩(wěn)定可靠運(yùn)行，減少氣體流動負(fù)擔(dān)，...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，氣體的高純度是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過濾器，采用先進(jìn)的納米級過濾技術(shù)，能夠高效去除氣體中的微小雜質(zhì)，確保氣體的高純度。該過濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mp...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體的純度直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，是高純大流量過濾器的典范。該過濾器采用全316L不銹鋼精密打造，不僅堅(jiān)固耐用，還具備卓越的耐腐蝕...

在半導(dǎo)體制造過程中，氣體的純度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過濾器，專為超高純工藝氣體在線過濾而設(shè)計(jì)，能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。

在半導(dǎo)體制造的超高純工藝中，氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專用過濾器，正是為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾量身定制的核心設(shè)備。

在工業(yè)生產(chǎn)中，壓縮空氣系統(tǒng)的氣體質(zhì)量直接影響到生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行效率和產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌的壓縮空氣系統(tǒng)不銹鋼高純氣體過濾器，以其卓越的性能和高效過濾能力，成為提升氣體質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。該過濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mpa，...